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K-mate射頻電源及匹配器針對(duì)不同負(fù)載選擇相對(duì)應(yīng)的阻抗匹配器

發(fā)布時(shí)間:2015-08-18 08:50      發(fā)布人:admin  瀏覽量:5904
首先在使用K-mate產(chǎn)品時(shí),要明確應(yīng)用設(shè)備的負(fù)載是容抗負(fù)載還是感抗負(fù)載,根據(jù)不同類型的負(fù)載選擇相適應(yīng)的射頻匹配器。(在采購(gòu)或調(diào)試時(shí)告知我司銷售人員或技術(shù)人員)。容抗負(fù)載多指的是真空腔體內(nèi)電極放電,如磁控濺射,等離子清洗,RIE反應(yīng)刻蝕,平板PECVD.感抗負(fù)載多指是通過(guò)線圈耦合等離子體放電,如管式PECVD,ICP刻蝕,射頻感應(yīng)加熱等。在選用我司500W功率的射頻電源時(shí),容抗負(fù)載建議選擇VENA-500(0010+00077),感抗負(fù)載時(shí)應(yīng)選擇VENA-500(0010+00077)并告知負(fù)載線圈的規(guī)格如銅管的大小,線圈的內(nèi)徑,圈數(shù),及間距。以便我們?cè)诔鰪S時(shí)做好調(diào)試。在選用1000W匹配器時(shí)也需如此。

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